超深冷熱處理加工是一種將材料冷卻到極低溫度（通常低于 - 130℃）的處理工藝，在提高材料性能等方面有重要作用，對質量精度有諸多嚴格需求，主要體現在以下幾個方面：

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溫度控制精度
降溫速率精準：超深冷處理過程中，降溫速率對材料內部微觀結構轉變有重要影響。不同材料和工件對降溫速率要求不同，如高速鋼刀具，過快或過慢的降溫速率可能導致馬氏體轉變不充分或產生過大熱應力，影響刀具硬度和韌性，一般需將降溫速率控制在特定范圍內，如每分鐘 1℃-5℃。
低溫保持穩定：在超深冷處理的低溫階段，需保持溫度的高度穩定。以航空發動機葉片為例，若溫度波動過大，會使葉片內部組織轉變不均勻，降低葉片的抗疲勞性能和使用壽命，通常要求溫度波動控制在 ±2℃以內。
升溫過程可控：升溫階段同樣要精確控制，緩慢且均勻的升溫有助于消除材料內部因深冷產生的殘余應力，若升溫過快，可能產生新的應力甚至導致材料開裂，升溫速率一般控制在每分鐘 2℃-10℃。
時間控制精度
冷卻時間精確：冷卻時間是超深冷處理的關鍵參數，直接影響材料性能。對于模具鋼材料，冷卻時間過短，奧氏體不能充分轉變為馬氏體，會降低模具的硬度和耐磨性；冷卻時間過長，則可能導致材料脆化，一般冷卻時間需根據材料成分和工件尺寸精確確定，從幾小時到幾十小時不等，如對于一些大型模具，冷卻時間可能需要 48 小時 - 72 小時。
保溫時間準確：在超低溫下的保溫時間也至關重要。以硬質合金刀具為例，合適的保溫時間能使合金中的碳化物充分細化和均勻分布，提高刀具的切削性能，保溫時間誤差一般不能超過規定時間的 ±10%。
工件尺寸和形狀精度
尺寸精度保障：超深冷處理可能會引起工件尺寸的微小變化，對于精密零件，如精密軸承、光學鏡片等，尺寸變化必須控制在嚴格范圍內。一般來說，軸承的直徑變化需控制在 ±0.01mm 以內，以確保其與其他部件的配合精度，保證設備的正常運行。
形狀精度保持：對于復雜形狀的工件，如渦輪葉片、航空葉輪等，要確保超深冷處理后形狀精度不變。處理過程中不均勻的冷卻或熱應力可能導致工件變形，通常要求葉片型面的形狀誤差控制在 ±0.05mm 以內，以保證其空氣動力學性能。
設備及工藝系統精度
制冷設備可靠：超深冷處理設備的制冷能力和穩定性直接影響處理效果。制冷系統的溫度控制精度要達到 ±1℃，制冷量需根據工件尺寸和處理量精確匹配，以保證能快速將工件冷卻到所需低溫，并維持穩定的低溫環境。
溫度監測精確：溫度傳感器的精度和可靠性至關重要，其測量誤差應控制在 ±0.5℃以內，且要能實時準確地反映工件的實際溫度，以便操作人員及時調整工藝參數。
工裝夾具精密：工裝夾具用于固定和支撐工件，其精度影響工件在處理過程中的均勻冷卻和受力情況。工裝夾具的定位精度要達到 ±0.05mm，以確保工件在超深冷處理過程中的位置準確，避免因局部過熱或過冷導致質量問題。