模具真空熱處理加工是一種高的熱處理技術，它結合了真空技術與熱處理技術，將模具零件置于真空熱處理設備中，進行加熱、保溫和冷卻的工藝方法。

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這種技術具有許多優點，使得模具的質量和使用性能得到顯著提高。
模具經過真空熱處理后，表面不氧化、不脫碳，淬火畸變小，表面硬度均勻，這些優點使得模具的使用壽命普遍增加，一般能提高30%以上，此外，真空熱處理還可以將加工余量（磨削或拋光）縮小1/3~1/2，從而提高了生產效率、降低了模具制造成本。
在模具真空熱處理加工中，主要應用的技術包括真空油冷淬火、真空氣冷淬火和真空回火等，這些技術可以根據模具的具體要求和材料特性進行選擇，以達到最佳的熱處理效果。
真空油冷淬火是一種快速冷卻的淬火方法，適用于要求硬度高、耐磨性好的模具，真空氣冷淬火則是通過控制冷卻速度，使模具在淬火過程中獲得更好的組織和性能，真空回火則是在淬火后進行的熱處理工藝，用于消除模具的殘余應力和改善其機械性能。
此外，真空熱處理還可以實現無氧化、無脫碳、無滲碳等效果，從而達到表面光亮凈化的效果，這對于要求高精密、要求尺寸和性能穩定的模具來說尤為重要。